Оператор диффузионных процессов (2-й разряд)

Характеристика работ

Ведение процессов диффузии примесей (бора, фосфора) в кремний и создание защитных покрытий химико-термическим методом (под руководством рабочего высшей квалификации). Окисление пластин кремния в потоке газов и паров воды. Загрузка и выгрузка пластин кремния. Измерение температуры рабочей зоны установки и наблюдение за другими режимами с помощью контрольно-измерительных приборов и термопар. Изготовление шлифов на пластинах кремния и определение по ним глубины диффузии. Вжигание металлизированных контактов (алюминий, золото) в кремний. Взвешивание диффузанта и его загрузка.

Нужно знать

• наименование, назначение важнейших частей и принцип действия установок для проведения процессов окисления
• назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов, ротаметров, контактных термометров
• методы определения толщины окислов по интерференционным полосам в сравнении с таблицей
• основные свойства полупроводниковых материалов (германий, кремний) и материалов, применяемых для легирования (бор, фосфор и их соединения)
• основы теории получения р-п переходов (диодов и триодов)
• принцип действия установок измерения удельного сопротивления четырехзондовым методом

Примеры работ
1. Пластины кремния, германия — термообработка перед фотолитографией.
2. Пленки окисные — получение методом контролируемого низкотемпературного окисления моносилана кислородом в среде инертного газа.
3. Подложки — насыщение бором.