Оператор диффузионных процессов (4-й разряд)

Характеристика работ

Окисление и диффузия примесей в германий, кремний и арсенид галлия с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов. Отжиг ионно-легированных слоев. Ведение процесса дрейфа ионов лития в пластины кремния. Одновременное проведение двух процессов окисления или диффузии. Дозирование легирующих элементов. Подготовка газораспределительного пульта к работе. Сборка и наладка отдельных узлов газовой системы (определение точки росы и содержания кислорода в технологических газах). Наблюдение за температурой и другими режимами и регулирование их. Определение неисправностей в работе оборудования. Измерение электрических параметров р-п переходов, резисторов и характеристик микросхем.

Нужно знать

• устройство установок с высокочастотным нагревом, установок дрейфа, водородной, вакуумной и силитовых печей
• устройство, назначение и условия применения контрольно-измерительных приборов (термопар, гальванометров, осциллографов, вакуумметров и др)
• методы измерения температурного профиля диффузионной печи
• основные свойства полупроводниковых материалов (германий, арсенид галлия, кремний)
• свойства газов (водород, азот, кислород)
• основные свойства диффузантов
• режимы процесса
• способы и методы контроля
• элементарный расчет параметров диффузионных слоев
• основные свойства оксидных пленок, р-п, п-п переходов
• методы их получения и контроля

Примеры работ
1. Диффузия мышьяка, сурьмы.
2. Диффузия фосфора из треххлористого фосфора, оксихлорена и из легированных пленок.
3. Диффузия бора из нитрида бора и трибромида бора.
4. Диффузия бора и золота, фосфора и золота (одновременное проведение процесса).
5. Кремний — окисление в парах HCl.
6. Пластины кремния — термическое окисление в печах типа СДО 125/3-12.