Оператор диффузионных процессов (3-й разряд)

Характеристика работ

Ведение процессов окисления, диффузии примесей в один из видов полупроводникового материала на налаженном оборудовании определенного типа. Измерение толщины окисла и дрейфовой области кремниевых пластин. Изготовление косых и сферических шлифов, выявление переходов, измерение глубины р-п перехода поверхностного сопротивления и концентрации примесей. Контроль режима диффузионного процесса. Загрузка и выгрузка пластин с помощью автоматического загрузчика. Контроль качества пластин после диффузии и окисления. Комплектация (формирование) партий эпитаксиальных структур.

Нужно знать

• устройство и способы подналадки обслуживаемых оборудования и установок
• методы измерения температуры в рабочей зоне установки
• степени осушки газа
• свойства газов, применяемых материалов
• основные законы электротехники и вакуумной техники в пределах выполняемых работ
• влияние различных факторов на параметры диффузионных слоев
• устройство приборов для контроля процесса
• методы измерения поверхностного сопротивления
• методы контроля толщины дрейфовой области

Примеры работ
1. Диффузия золота.
2. Стекло боросиликатное — диффузия бора.
3. Стекла растворимые — диффузия сурьмы.
4. Структуры кремниевые — геттерирование с помощью пленки SiO2 с одновременной диффузией никеля.