Оператор плазмохимических процессов (7-й разряд)

Характеристика работ

Проведение процессов плазмохимической очистки и травления полупроводниковых материалов на экспериментальном и опытном оборудовании. Проведение многостадийных процессов травления. Плазмохимическое травление многослойных структур. Анизатропное травление поликремния. Сборка и разборка внутрикамерного устройства и его чистка. Отыскание течей вакуумных систем и принятие мер к их устранению.

Нужно знать

  • конструкцию экспериментального и опытного оборудования для проведения плазмохимических процессов
  • правила ведения плазмохимического травления многослойных структур и ведения многостадийных процессов
  • методы отыскания течей в вакуумных системах и способы их устранения и предупреждения

Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Кремниевые пластины — плазмохимическое травление AL/SL; ASI/TIW.
2. Кремниевые пластины — плазмохимическое травление ФСС, БФСС, SiO2 селективно к SI, ПКК при формировании контактов.