Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (4-й разряд)

Характеристика работ

Ведение процесса наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев всех типов. Корректировка процесса наращивания по результатам контрольного процесса. Расчет скорости наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев. Расчет концентрации легирующей примеси. Карбидизация графитовых нагревателей (пьедесталов). Приготовление растворов SiCl4 с определенной концентрацией легирующей примеси. Определение неисправностей в установках.

Нужно знать

• устройство и способы подналадки оборудования различных типов
• методы наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев и их свойства
• свойства полупроводниковых материалов
• свойства газов
• методы измерения основных электрофизических и структурных параметров эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических структур
• устройство, назначение и условия применения приборов для контроля процесса, системы газораспределения и водяного охлаждения
• влияние концентрации легирующей примеси на параметры эпитаксиальных структур, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев
• основы электротехники в пределах выполняемой работы

Примеры работ
Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические и металлические слои — наращивание структур со скрытыми слоями.