Оператор по наращиванию эпитаксиальных слоев (3-й разряд)

Характеристика работ

Ведение процесса наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических, металлических слоев с определенными параметрами на установках эпитаксиального наращивания. Подготовка оборудования к работе, проверка оборудования на герметичность, загрузка и разгрузка подложек. Контроль и корректировка режима процесса наращивания. Проверка качества применяемых подложек, материалов. Ведение процесса газового травления. Замер температуры оптическим пирометром. Заправка испарителей SiCl4. Снятие и установка кварцевой оснастки на оборудовании различных типов. Проведение профилактики газовой системы. Замена баллонов.

Нужно знать

• устройство важнейших частей, принцип действия установок эпитаксиального наращивания и контрольно-измерительных приборов
• свойства химикатов, применяемых для наращивания эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев
• реакции, происходящие на поверхности подложки в процессе наращивания
• влияние примесей на качество эпитаксиальных, поликристаллических, диэлектрических и металлических слоев
• способы градуирования ротаметров
• методы измерения и регулирования температуры процесса наращивания испарителей, охлаждения реактора
• правила работы с баллонами, магистральными газами и газовыми смесями

Примеры работ
Эпитаксиальные, поликристаллические, диэлектрические, металлические слои — наращивание однослойных структур.