Общие сведения
Код: 40.235Проведение процессов жидкостной прецизионной обработки полупроводниковых пластин в производстве изделий микроэлектроники
Основная цель вида профессиональной деятельности
Осуществление подготовки поверхности полупроводниковых пластин методом жидкостной прецизионной обработки на автоматических и полуавтоматических установках для дальнейшего их использования в маршрутах изготовления изделий микроэлектроники
Группа занятий
3133.
Операторы по управлению технологическими процессами в химическом производстве
3139.
Техники (операторы) по управлению технологическими процессами, не входящие в другие группы
Отнесение к видам экономической деятельности
26.11.3
Производство интегральных электронных схем
Функциональная карта вида профессиональной деятельности
Описание трудовых функций, входящих в профессиональный стандарт
Обобщенные трудовые функции
Трудовые функции
Код
Наименование
Уровень квалификации
Наименование
Код
Уровень квалификации
Сведения об организациях – разработчиках профессионального стандарта
Ответственная организация-разработчик: Фонд инфраструктурных и образовательных программ, город Москва
Генеральный директор Титов Руслан Вадимович
Генеральный директор Титов Руслан Вадимович
1
Акционерное общество «Микрон», город Москва, город Зеленоград
2
Акционерное общество «Научно-исследовательский институт молекулярной электроники», город Москва, город Зеленоград
3
Некоммерческое партнерство «Межотраслевое объединение наноиндустрии», город Москва
4
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Российская академия народного хозяйства и государственной службы при Президенте Российской Федерации», город Москва
Характеристика обобщенных трудовых функций
1. Обобщенная трудовая функция «Жидкостная прецизионная обработка продуктовых пластин на автоматических и полуавтоматических установках»
Возможные наименования должностей, профессий
- Оператор жидкостных прецизионных обработок 4-го разряда
- Оператор прецизионного травления 4-го разряда
- Оператор жидкостного прецизионного травления 4-го разряда
Требования к образованию и обучению
- Среднее профессиональное образование – программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих
Требования к опыту практической работы
- -
Особые условия допуска к работе
- Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
- Прохождение обучения по охране труда и проверка знаний требований охраны труда
Другие характеристики
Дополнительное профессиональное образование – программы повышения квалификации не реже, чем один раз в пять летДополнительные характеристики
Наименование документа
Код
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
ЕКС
§ 134
Травильщик прецизионного травления 4-го разряда
ОКСО 2016
2.11.01.09
Оператор микроэлектронного производства
ОКПДТР
19190
Травильщик прецизионного травления
1.1 Трудовая функция
Проведение операций жидкостной прецизионной обработки при производстве изделий микроэлектроники
Трудовые действия
- Подготовка к проведению технологического процесса жидкостной прецизионной обработки продуктовых пластин на автоматических и полуавтоматических установках
- Осуществление входа в систему автоматизированного управления производством и запуск партии продукции в соответствии с технологическим маршрутом производства изделий микроэлектроники
- Загрузка продукции в технологическое оборудование в ручном и автоматическом режиме
- Проведение технологического процесса жидкостной прецизионной обработки продуктовых пластин на автоматических и полуавтоматических установках
- Контроль пластин после проведения операции жидкостной прецизионной обработки, сдача обработанной продукции
- Ввод информации о проведенном процессе жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники в систему автоматизированного управления производством
- Заполнение сопроводительных листов и рабочих журналов, оформление записей данных о проведении операции жидкостной прецизионной обработки в маршрутную карту и журнал передачи смены
- Перевод партии продуктовых пластин, прошедших жидкостную прецизионную обработку, на следующую операцию изготовления изделий микроэлектроники в системе автоматизированного управления производством
- Подготовка рабочего места до проведения операции жидкостной прецизионной обработки и уборка рабочего места после проведения операций
Необходимые умения
- Работать в системе автоматизированного управления производством изделий микроэлектроники
- Проверять статус оборудования для проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Проверять партию продукции, выбранной в работу, на соответствие информации системы автоматизированного управления производством при изготовлении изделий микроэлектроники
- Запускать рецепт обработки продуктовых пластин на установке жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники (в ручном и в автоматическом режиме)
- Проводить процесс жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники в ручном и автоматическом режиме
- Выгружать партии обработанных пластин из установки жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Выбирать в работу партию продуктовых пластин из списка в сменном задании в соответствии с приоритетами обработки, требованиями межоперационного времени хранения, рекомендациями системы автоматизированного управления производством, указаниями начальника смены производства изделий микроэлектроники
- Работать с пластинами в контейнерах, загрузочными устройствами автоматизированного оборудования жидкостной прецизионной обработки
- Запускать рецепт обработки партии пластин непосредственно на установке жидкостной прецизионной обработки, либо с помощью сканера, последовательно считывая штрихкоды, либо с помощью смартфона, последовательно считывая радиометки
- Осуществлять контроль работы оборудования по проведению операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники с помощью устройств отображения информации (мониторов)
- Выполнять действия при возникновении нештатных ситуаций на оборудовании жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве
Необходимые знания
- Правила ввода информации в автоматизированную систему управления производством при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила ведения записей в сопроводительной документации в соответствии с системой менеджмента качества организации
- Порядок действий при сбойных ситуациях на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Условия, требуемые для обработки продукции и выполнения технологических операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Технологическая документация (операционные и универсальные карты, инструкции) по проведению технологических операций жидкостной прецизионной обработки на специализированном оборудовании
- Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
- Планировка чистого производственного помещения и расположение технологического оборудования
- Правила работы в чистом производственном помещении при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Наименования и свойства химических материалов, используемых при проведении процессов жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Факторы агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температура, время воздействия), влияющие на прецизионность жидкостных обработок
- Опасные и вредные факторы агрессивных сред, используемых при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Характеристики технологических сред, влияющие на достижение необходимой точности процесса жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила безопасной работы с жидкими химическими реактивами при работе на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки
- Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов прецизионной жидкостной обработки при производстве изделий микроэлектроники
- Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта) при проведении операций жидкостной прецизионной обработки
- Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
- Правила пожарной безопасности при проведении технологической операции жидкостной прецизионной обработки
- Требования производственной и трудовой дисциплины, правила внутреннего трудового распорядка, требования охраны труда, производственной санитарии и электронной гигиены
- Основы общей химии в пределах операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники, назначение и свойства применяемых реактивов
- Основные технические характеристики полуавтоматических и автоматических установок для проведения операций жидкостного прецизионного травления, устройство установок (общие сведения) и принципы их работы
- Требования системы менеджмента качества
- Требования системы экологического менеджмента и системы менеджмента производственной безопасности и здоровья
- Требования, предъявляемые к условиям производства изделий микроэлектроники
- Культура производства и вакуумная гигиена в производстве изделий микроэлектроники
- Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Требования к опыту практической работы
Требований нет
Другие характеристики
-1.2 Трудовая функция
Контроль качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
Трудовые действия
- Проведение визуального контроля обработанной продукции с использованием микроскопа (микроконтроль) после проведения операций прецизионной жидкостной обработки
- Измерение толщин технологических слоев после проведения операции прецизионного травления слоя на автоматизированном измерительном оборудовании
- Определение остаточных дефектов (частиц) с использованием лазерных анализаторов поверхности в автоматическом режиме при разбраковке рабочих пластин, подготовленных к запуску на маршрут изготовления изделия
- Контроль линейных размеров вытравленных участков после проведения операции прецизионного травления при наличии/отсутствии маски на сканирующем электронном микроскопе в автоматическом режиме
- Проведение макроинспекции лицевой и обратной стороны пластины с целью выявления царапин, пятен и крупных дефектов после проведения операций прецизионной жидкостной обработки на рабочих пластинах
- Внесение результатов измерения и контроля качества проведения операции прецизионной жидкостной обработки в сопроводительную документацию на изделие
Необходимые умения
- Работать с микроскопом для проведения визуального контроля партии рабочих пластин
- Работать на установках измерения толщин технологических слоев для контроля проведения операций прецизионного жидкостного травления пластин
- Работать на установках контроля линейных размеров структур при проведении операций жидкостного прецизионного травления пластин
- Работать на лазерных анализаторах поверхности при разбраковке рабочих пластин, поступающих на маршрут изготовления изделий микроэлектроники
- Работать с пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки
- Работать в автоматизированной системе управления производством изделий микроэлектроники
- Запускать измерительные рецепты на измерительных установках либо непосредственно на установке, либо с помощью автоматизированной системы управления производством при контроле качества проведенной операции жидкостной прецизионной обработки
- Работать на оборудовании автоматического поиска дефектов на пластинах с топологией (после прохождения специализированных курсов обучения работе на установках данного типа) для контроля качества проведения операций прецизионной жидкостной обработки
- Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего трудового распорядка, требования охраны труда, производственной санитарии и электронной гигиены при осуществлении контроля качества проведенных операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Необходимые знания
- Виды дефектов поверхности пластин и каждого технологического слоя после проведения операций жидкостной прецизионной обработки
- Контролируемые параметры и границы спецификации операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила работы с автоматизированной системой управления производством изделий микроэлектроники
- Правила работы в чистом производственном помещении при производстве изделий микроэлектроники
- Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки при производстве изделий микроэлектроники
- Правила оформления ввода информации о проведенной операции жидкостной прецизионной обработки
- Правила эксплуатации и режимы работы измерительного оборудования для контроля качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Планировка чистого производственного помещения и расположение измерительного оборудования производства изделий микроэлектроники
- Операционные универсальные карты на измерительное оборудование для контроля качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации оборудования жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Требования охраны труда и пожарной безопасности при работе на измерительном оборудовании для контроля качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Порядок действий при сбойных ситуациях на метрологическом оборудовании для контроля качества проведения операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Физические основы методов контроля толщин технологических слоев, размеров структур и дефектности поверхности изделий микроэлектроники
- Контрольная карта изделия микроэлектроники
- Культура производства и вакуумная гигиена в производстве изделий микроэлектроники
- Требования системы менеджмента качества
- Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Требования к опыту практической работы
Требований нет
Другие характеристики
-Характеристика обобщенных трудовых функций
2. Обобщенная трудовая функция «Жидкостная прецизионная обработка вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках»
Возможные наименования должностей, профессий
- Старший оператор жидкостного прецизионного травления
- Оператор жидкостного прецизионного травления 5-го разряда
- Оператор прецизионного травления 5-го разряда
- Оператор прецизионного травления 6-го разряда
Требования к образованию и обучению
- Среднее профессиональное образование – программы подготовки квалифицированных рабочих, служащих
Требования к опыту практической работы
- Не менее шести месяцев работы с более низким (предыдущим) разрядом
Особые условия допуска к работе
- Прохождение обязательных предварительных и периодических медицинских осмотров
- Прохождение обучения по охране труда и проверка знаний требований охраны труда
Другие характеристики
Дополнительное профессиональное образование – программы повышения квалификации не реже, чем один раз в пять летДополнительные характеристики
Наименование документа
Код
Наименование базовой группы, должности (профессии) или специальности
ЕКС
§135
Травильщик прецизионного травления 5-го разряда
ОКСО 2016
2.11.01.09
Оператор микроэлектронного производства
ОКПДТР
19190
Травильщик прецизионного травления
2.1 Трудовая функция
Подготовка вспомогательных пластин и выполнение операций аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
Трудовые действия
- Подготовка к выполнению аттестационного процесса жидкостной прецизионной обработки вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках
- Проведение аттестационного процесса жидкостной прецизионной обработки вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках
- Определение остаточных дефектов (частиц) с использованием лазерных анализаторов поверхности на вспомогательных пластинах без сформированного рисунка при проведении аттестационного процесса
- Проведение повторных замеров на пластинах после проведения аттестационного процесса, регистрация (внесение в базу данных), проверка соответствия полученных результатов аттестации нормам на установке прецизионной жидкостной обработки пластин
- Внесение полученных результатов аттестационных процессов на установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники в карты статистического управления с применением системы автоматизированного управления производством
- Подготовка мониторных пластин для выполнения аттестаций установок прецизионной жидкостной обработки в соответствии с технологической инструкцией
Необходимые умения
- Работать на установке сортировки пластин для подготовки вспомогательных пластин и выполнения операций аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Выбирать для аттестации установку жидкостной прецизионной обработки и необходимые тесты в соответствии с планом-графиком аттестации оборудования и указаниями системы автоматизированного управления производством
- Запускать маршрут аттестации установки жидкостной прецизионной обработки в автоматизированной системе управления производством
- Отбирать мониторные пластины, необходимые для аттестации установки жидкостной прецизионной обработки
- Производить предварительные замеры необходимых параметров на мониторных пластинах
- Запускать аттестационный рецепт на оборудовании жидкостной прецизионной обработки
- Загружать аттестационные пластины из контейнера в установку жидкостной прецизионной обработки
- Выгружать аттестационные пластины из установки жидкостной прецизионной обработки в контейнеры
- Работать на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка (лазерном анализаторе поверхности) при аттестации установок жидкостной прецизионной обработки
- Работать на установке измерения параметров металлических слоев при аттестации установок жидкостной прецизионной обработки
- Работать на установках измерения толщин непроводящих слоев при аттестации установок жидкостной прецизионной обработки
- Работать на установках контроля поверхностного сопротивления слоев при аттестации установок жидкостной прецизионной обработки
- Работать в автоматизированной системе управления производством при проведении тестов для проверки технологической готовности установок жидкостной прецизионной обработки
- Анализировать тренды значений параметров установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники при проведении аттестационных процессов
- Вносить полученные результаты аттестационных процессов в карты статистического управления процессами жидкостной прецизионной обработки с применением автоматизированной системы управления производством
- Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего трудового распорядка, требования охраны труда, производственной санитарии и электронной гигиены при подготовке вспомогательных пластин и выполнении операций аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Необходимые знания
- Правила поведения и работы в чистом производственном помещении производства изделий микроэлектроники
- План контроля каждой единицы оборудования жидкостной прецизионной обработки, находящейся в зоне ответственности
- Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные), используемых для аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Операционные универсальные карты на оборудование жидкостной прецизионной обработки и на измерительное оборудование, рабочие технологические инструкции аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Факторы агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температура, время воздействия), влияющие на прецизионность жидкостной обработки изделий микроэлектроники
- Характеристики технологических сред, влияющие на достижение необходимой точности процесса жидкостной прецизионной обработки
- Опасные и вредные факторы агрессивных сред, используемых при проведении аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки
- Правила обращения с опасными и агрессивными жидкими технологическими средами при аттестации установок жидкостной прецизионной обработки
- Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
- Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники, при проведении аттестации установок
- Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта) при проведении аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Методы и принципы статистического управления технологическими процессами на установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники (методы статистического регулирования, контрольные карты, контрольные границы), используемые при анализе результатов проведения аттестационных процессов
- Правила работы с автоматизированной системой управления производством изделий микроэлектроники
- Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки при подготовке вспомогательных пластин и выполнении операций аттестации установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила оформления ввода информации о проведенной операции аттестации установки жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
- Техника безопасной работы с жидкими химическими реактивами на установках жидкостной прецизионной обработки
- Требования системы экологического менеджмента при использовании жидких химических реактивов на операциях жидкостных прецизионных обработок изделий микроэлектроники
- Требования системы менеджмента качества
- Требования охраны труда и пожарной безопасности при работе на оборудовании жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Технические характеристики, конструктивные особенности, режимы работы и правила эксплуатации оборудования, используемого для жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Культура производства и вакуумная гигиена в производстве изделий микроэлектроники
- Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Требования к опыту практической работы
Требований нет
Другие характеристики
-2.2 Трудовая функция
Выполнение действий при отклонении результатов аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники от контрольных границ значений параметров
Трудовые действия
- Контроль результатов аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники и выполнение действий по устранению отклонения при выходе параметров процессов на установке жидкостной прецизионной обработки пластин за статистические контрольные границы
- Перевод статуса оборудования в статус неработоспособного состояния при выявлении отклонений параметров процесса на установке жидкостной прецизионной обработки
- Проверка корректности данных, внесенных в автоматизированную систему управления производством, по результатам аттестации процессов прецизионной жидкостной обработки изделий микроэлектроники
- Оповещение инженера-технолога для исправления некорректного ввода данных по результатам аттестаций жидкостных прецизионных установок в автоматизированную систему управления производством
Необходимые умения
- Работать на автоматизированных установках жидкостной прецизионной обработки кремниевых пластин
- Устанавливать в системе автоматизированного управления производством статус состояния оборудования жидкостной прецизионной обработки (работоспособное либо неработоспособное)
- Осуществлять действия при отклонениях параметров аттестационных процессов жидкостной прецизионной обработки согласно технологическим инструкциям
- Делать записи в журнале передачи смен или ввод данных в автоматизированную систему управления производством при выявлении ошибок при проведении аттестации установок прецизионной жидкостной обработки (ошибка ввода данных в автоматизированную систему управления производством, выбор неправильного измерительного рецепта)
- Исправлять данные в автоматизированной системе управления производством по полученным параметрам аттестационного процесса после повторных измерений, если первоначально измерительный рецепт был выбран неправильно
- Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего трудового распорядка, требования охраны труда, производственной санитарии и электронной гигиены в процессе выполнения действий при отклонении результатов аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники от контрольных границ значений параметров
- Оказывать первую помощь пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Необходимые знания
- Контрольные границы значений параметров оборудования жидкостной прецизионной обработки (допустимые значения скоростей травления, дефектности, загрязнения поверхности примесями)
- Причины и порядок проведения внеплановой аттестации оборудования жидкостной прецизионной обработки
- Факторы агрессивности активной среды (составы травящих растворов, соотношения объемных частей компонентов в растворе, концентрации химических реактивов, pH раствора, температура, время воздействия), влияющие на прецизионность жидкостной обработки изделий микроэлектроники
- Характеристики сред, влияющие на достижение необходимой точности процесса жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Опасные и вредные факторы агрессивных сред, используемых при проведении операций жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила обращения с опасными и агрессивными жидкими технологическими средами при работе на оборудовании жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Техника безопасной работы с агрессивными и ядовитыми средами на операциях жидкостной прецизионной обработки кремниевых пластин
- Критерии качества процесса жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники (толщина стравливаемого слоя, линейные размеры вытравленных областей, отсутствие остатков фоторезиста и полимерных остатков на пластинах, отсутствие дефектов на пластинах)
- Правила технологической дисциплины, предупреждающие возникновение дефектов жидкостной прецизионной обработки, при проведении аттестационных процессов
- Причины дефектообразования (сбой в работе оборудования, работа на неаттестованном оборудовании, подача некачественных энергоносителей, неправильный выбор рецепта) при проведении аттестационных процессов на оборудовании жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Требования системы экологического менеджмента при использовании жидких химических реактивов на производстве изделий микроэлектроники ( влияние используемых химических реактивов на экологию, способы утилизации использованных химических реактивов, требования экологических стандартов к производствам, использующим химические реактивы, способы сокращения потребления химических реактивов)
- Правила работы с автоматизированной системой управления производством изделий микроэлектроники
- Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки для выполнения действий при отклонении результатов аттестаций установок жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники от контрольных границ значений параметров
- Правила оформления ввода информации о проведенной операции аттестации установки жидкостной прецизионной обработки
- Правила работы в чистом производственном помещении при производстве изделий микроэлектроники
- Технологические инструкции по действиям при отклонении параметров при проведении аттестационных процессов для каждой установки жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Основные этапы технологических маршрутов изготовления интегральных микросхем
- Требования системы менеджмента качества
- Требования охраны труда и пожарной безопасности при работе на оборудовании жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Культура производства и вакуумная гигиена при производстве изделий микроэлектроники
- Порядок оказания первой помощи пострадавшему на производстве изделий микроэлектроники
Требования к опыту практической работы
Требований нет
Другие характеристики
-2.3 Трудовая функция
Проведение реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
Трудовые действия
- Подготовка к выполнению реставрационного процесса вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Проведение операций реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Определение остаточной толщины технологического слоя на установках измерения толщин при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Определение остаточных дефектов (частиц) на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Проведение повторных замеров на вспомогательных пластинах после проведения их реставрации, контроль соответствия полученных результатов нормам спецификации для каждого вида вспомогательных пластин
- Сортировка пластин по уровню дефектности для формирования партий мониторных пластин
Необходимые умения
- Работать на установке сортировки пластин при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Отбирать пластины для реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Выбирать маршрут реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники в системе автоматизированного управления производством
- Выбирать единицы оборудования и режимы операций в соответствии с технологической документацией при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Производить предварительные замеры на реставрируемых вспомогательных пластинах
- Запускать рецепт стравливания технологического слоя и/или химической очистки при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Выгружать реставрируемые пластины из установки жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Работать на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Работать на установке контроля дефектности для пластин без сформированного рисунка при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Работать на установках измерения толщин непроводящих слоев при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Сортировать пластины по уровню дефектности при проведении реставрации вспомогательных пластин
- Соблюдать производственную и трудовую дисциплину, правила внутреннего трудового распорядка, требования охраны труда, производственной санитарии и электронной гигиены при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
Необходимые знания
- Правила работы в чистом производственном помещении при производстве изделий микроэлектроники
- Правила работы с автоматизированной системой управления производством изделий микроэлектроники
- Правила обращения с кремниевыми пластинами, кассетами и контейнерами для их хранения и транспортировки при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Правила ввода информации о проведенной операции по реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Порядок разбраковки вспомогательных пластин перед реставрацией на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники и отправки пластин на регенерацию
- Типы партий вспомогательных пластин (источники, мониторные, накопители, реставрируемые, балластные, квалификационные), используемых при проведении реставрации на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
- Нормы контроля для каждого вида вспомогательных пластин при проведении их реставрации
- Культура производства и вакуумная гигиена при проведении реставрации вспомогательных пластин на автоматических и полуавтоматических установках жидкостной прецизионной обработки изделий микроэлектроники
Требования к опыту практической работы
Требований нет
Другие характеристики
-Другие специальности:
- Специалист по производству агломерата
- Машинист катка
- Специалист в области картографии и геоинформатики
- Специалист по эксплуатации технологического оборудования газораспределительных станций, отдельно стоящих газорегуляторных пунктов, узлов учета и редуцирования газа
- Слесарь по ремонту специального железнодорожного подвижного состава и механизмов
- Машинист машин для транспортировки бетонных смесей
- Работник в области ветеринарии
- Специалист по оперативному руководству колонной локомотивных бригад тягового подвижного состава, бригад специального железнодорожного подвижного состава, машинистами кранов на железнодорожном ходу
- Специалист в области расчета и проектирования бетонных и железобетонных конструкций зданий и сооружений
- Помощник по уходу
- Шевинговальщик
- Специалист в области инженерно-геологических изысканий для градостроительной деятельности
- Специалист по производству проектной продукции для объектов использования атомной энергии
- Руководитель нефтебазы
- Работник по производству глинозема из бокситов
- Стерженщик машинной формовки
- Врач-диетолог
- Печевой по переработке титаносодержащих и редкоземельных материалов
- Художник-аниматор
- Работник по управлению качеством производственных активов гидроэнергетических объектов (гидроэлектростанций/ гидроаккумулирующих электростанций)
- Работник по эксплуатации средств измерений и информационно-измерительных систем электростанции
- Специалист по функциональной верификации и разработке тестов функционального контроля наноразмерных интегральных схем
- Работник по эксплуатации аккумуляторного оборудования тепловой электростанции
- Модельщик по деревянным моделям
- Специалист по наладке подъемных сооружений