Оператор вакуумно-напылительных процессов (6-й разряд)

Характеристика работ

Напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов. Самостоятельный выбор способа нанесения пленок (термическое осаждение в вакууме, катодное распыление, осаждение из газовой фазы, электронно-лучевое и магнетронное напыление и т.д.). Отработка режимов напыления.

Нужно знать

• конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования для напыления микропленочных структур
• методы определения способа нанесения пленок и последовательности процесса
• правила определения режимов получения пленочных микроструктур
• методы контроля параметров пленок
• физику процесса получения пленочных микроструктур различными способами

Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Микросхемы пленочные, полупроводниковые приборы — изготовление опытных образцов на установках различных типов с двухслойной или многослойной металлизацией.
2. Пластины кремния различных типов — сплавление с одновременным нанесением алюминия.
3. Пластины со структурами — многослойное напыление на установках различных типов.
4. Покрытия оптические — просветление трехслойное двухстороннее.
5. Фильтры интерференционные — нанесение двух двенадцатислойных зеркал с промежуточным слоем лямбда/2.