Оператор вакуумно-напылительных процессов (5-й разряд)

Характеристика работ

Напыление различными способами (термическое испарение, катодное распыление, электронно-лучевое и магнетронное напыление) однослойных и многослойных пленочных микроструктур для изделий с субмикронными размерами или с повышенной степенью интеграции с выбором оптимальных режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации. Обслуживание установок с программным управлением. Наблюдение за режимами процесса. Работа с измерительной аппаратурой с целью регистрации и поддержания режимов осаждения пленок. Сравнительный контроль качества просветляющих пленок по эталону.

Нужно знать

• электрические и вакуумные схемы, способы проверки на точность различных моделей вакуумных напылительных установок
• конструкцию обслуживаемого оборудования
• правила определения режимов работы оборудования для получения металлических, резистивных пленок
• правила настройки и регулирования контрольно-измерительных инструментов и приборов
• электрофизические свойства взаимодействия полупроводник — металл, металл — металл
• основы электротехники и порядок работы вакуумной техники

Требуется среднее профессиональное образование.
Примеры работ
1. Диски для видиконов — двух-, трехслойное напыление.
2. Линзы из стекла К-8 оптической толщины лямбда/4 — нанесение одного слоя MgFe2 (просветление).
3. МДП-структуры — изготовление молибденового затвора.
4. Пластины C ч As — напыление Ag с подслоем Cr.
5. Пластины стеклянные — напыление маскирующих, кварцевых покрытий.
6. Пластины полупроводниковые (диодные матрицы, СВЧ — транзисторы, БИС, СБИС, ЗУ, стабилитроны) — одно- или двухслойное напыление различными способами.
7. Пленка полистирольная или стирофлексная, конденсаторная бумага — напыление различных металлов на вакуумной установке.
8. Пленки полупроводниковые и контактные площадки — напыление на монокристаллические подложки германия, кремния, арсенида галлия.
9. Подложки кварцевые — нанесение 15 слоев равной оптической толщины лямбда/4 (зеркало с коэффициентом отражения 99%).
10. Приборы квантовые — напыление семи-, одиннадцатислойных зеркал.