Оператор вакуумно-напылительных процессов (3-й разряд)

Характеристика работ

Напыление многослойных пленочных микросхем на вакуумных и плазменных установках. Установка подложек, масок, экранов и испарителей в рабочую камеру вакуумной установки. Загрузка навесок испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций. Замена мишеней на установках магнетронного напыления. Контроль электрических параметров процесса напыления; определение качества напыляемых слоев и толщины полученных пленок с помощью микроскопа.

Нужно знать

• устройство, принцип действия и способы подналадки обслуживаемого оборудования
• устройство универсальных и специальных приспособлений, контрольно-измерительных приборов
• назначение процесса откачки
• режимы испарения и осаждения распыляемого материала
• способы и методы контроля степени вакуума
• основные свойства и характеристики испаряемых материалов
• основные законы электротехники и вакуумной техники

Примеры работ
1. Кристаллические элементы кварцевых резонаторов — напыление.
2. Приборы квантовые — напыление трехслойных зеркал.
3. Подложки, пленки, ситалловые спутники — напыление алюминия, золота, нихрома, индия, ванадия, никеля, молибдена с контролем качества и толщины напыленного слоя.
4. Резисторы — напыление на ситалловую подложку через маску.