Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем
Карточка профессионального стандарта содержит реквизиты документа, обобщённые трудовые функции и требования к квалификации.
Код
40.007
40.007
Регистрационный номер
26
26
Приказ
№ 69н от 03.02.2014
№ 69н от 03.02.2014
Как использовать профессиональный стандарт
Профессиональный стандарт «Инженер-технолог в области производства наногетероструктурных СВЧ-монолитных интегральных схем» описывает квалификационные требования для соответствующего вида деятельности. При работе с карточкой сопоставляйте название стандарта, код 40.007, трудовые функции, возможные должности и требуемый уровень квалификации.
Для кадровых решений учитывают действующую редакцию документа, дату и номер утверждающего приказа, требования законодательства и фактические обязанности работника. Файлы в доступных форматах позволяют сверить полную структуру стандарта и формулировки требований с официальным документом.
Общие сведения
Вид профессиональной деятельности
Производство интегральных схем, микросборок и микромодулей
Основная цель
Производство наногетероструктурных сверхвысокочастотных (СВЧ) монолитных интегральных схем (МИС СВЧ) с использованием нанотехнологий
Классификаторы
| Классификатор | Код | Наименование |
|---|---|---|
| ОКЗ | Array | Array |
| ОКЗ | 2113. | Химики |
| ОКВЭД | 32.10.6 | Производство интегральных схем, микросборок имикромодулей |
Трудовые функции и требования
A Моделирование, разработка и внедрение новых технологических процессов производства наногетероструктурных МИС СВЧ
Уровень квалификации: 7
Возможные должности и профессии
- Ведущий инженер-технолог
- Инженер-технолог
Требования к образованию
- Высшее образование - специалитет, магистратура
Требования к опыту работы
- Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
Особые условия допуска
- Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
- инструктаж по безопасному ведению работ
A/01.7 Анализ мирового опыта применения материалов наногетероструктурной электроники СВЧ
Трудовые действия
- Анализ применения материалов в интегральной электронике СВЧ, основанной на гетероэпитаксиальных структурах
- Анализ физических и технологических принципов разработки и изготовления активных элементов с применением новых и традиционных материалов СВЧ (гетеротранзисторов с высокой подвижностью электронов, низкобарьерных диодов и др.)
- Прогноз применения материалов в наногетероструктурной электронике для определения политики организации в области производства наногетероструктурных МИС СВЧ
Необходимые умения
- Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации
Необходимые знания
- Технический английский язык
- Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
- Технология наногетероструктурных МИС СВЧ
- Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
- Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли
Другие характеристики
- Ответственность за прогнозные оценки развития производства
- Деятельность, направленная на решение нетиповых задач технологического характера
A/02.7 Разработка планов создания и модернизации технологических линий для освоения новых направлений в наногетероструктурной электронике СВЧ
Трудовые действия
- Анализ тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ
- Разработка технически и экономически обоснованных планов развития новых производств или модернизации существующих для освоения новых направлений в производстве МИС СВЧ
- Представление планов развития для обсуждения и принятия на научно-техническом совете (НТС)
Необходимые умения
- Делать обзоры по отечественным и иностранным источникам информации
- Готовить планы развития
- Готовить презентации
Необходимые знания
- Технический английский язык
- Технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях
- Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
- Технико-экономические и прогнозные исследования в отрасли
Другие характеристики
- Ответственность за прогнозные оценки развития производства
- Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера
A/03.7 Подготовка технического задания (ТЗ) на проведение опытно-технологических работ (ОТР) по разработке новых технологических процессов производства МИС СВЧ
Трудовые действия
- Анализ прогнозных оценок тенденций развития технологии, технологического оборудования в области наногетероструктурной электроники СВЧ
- Постановка целей и задач проведения опытно-технологических работ по разработке новых ТП производства МИС СВЧ
- Декомпозиция задач ОТР, выделение базовых ТП и установление временных рамок и последовательности их разработки
- Представление планов развития для обсуждения и принятия на НТС
- Формулирование ТЗ для определенной последовательности разработки базовых технологических процессов
- Оформление ТЗ на ОТР
- Представление и защита разработанных ТЗ на НТС
Необходимые умения
- Формулировать цели, задачи, разрабатывать и согласовывать ТЗ на проведение связанных системно ОТР
Необходимые знания
- Физика и технология наногетероструктурных МИС СВЧ, исследования в новых направлениях
- Системный анализ
- Методы декомпозиции сложных задач
- Технологическое оборудование для производства МИС СВЧ
- Технико-экономическое обоснование развития отрасли
- Стандарты на проведение опытно-технологических работ
Другие характеристики
- Ответственность за развитие производства
- Деятельность, направленная на решение новых задач технологического характера
A/04.7 Моделирование наногетероструктур, активных и пассивных элементов, технологических операций изготовления гетероструктурных МИС СВЧ с использованием технологических систем моделирования и проектирования элементов и технологий полупроводниковых ИС, в том чис
Трудовые действия
- Анализ требований КД на МИС СВЧ
- Выбор на основе опыта и в соответствии с ТЗ и КД материалов и типа наногетероструктуры
- Моделирование наногетероструктур, определение их параметров, необходимых для расчета активных элементов (СВЧ-транзисторов, диодов) с использованием TCAD и других программных продуктов
- Моделирование технологического процесса изготовления активных элементов, определение параметров ТП на основе данных моделирования
- Моделирование технологических операций изготовления пассивных элементов - линий передачи, конденсаторов, резисторов, мостов, и др.
- Отчет о результатах моделирования, согласование его с руководителем и передача технологу для использования при разработке ТД
Необходимые умения
- Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ
- Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ
Необходимые знания
- Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов
- Параметры полупроводниковых материалов
- Современные системы моделирования и проектирования СВЧ устройств и МИС СВЧ
- Основы технологии МИС СВЧ
- Методы сквозного проектирования МИС СВЧ
- Единая система технологической документации (ЕСТД), нормативная документация, регламенты, принятые в организации
- ГОСТ по постановке продукции на производство
Другие характеристики
- Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ
- Деятельность, направленная на подготовку заданий на конструирование МИС СВЧ
A/05.7 Подготовка технического задания (ТЗ) на разработку маршрутных и операционных карт производства МИС СВЧ на основе разработанной конструкторской документации (КД), документации на отработанные технологические процессы (ТП) и данных моделирования
Трудовые действия
- Анализ требований КД на МИС СВЧ, а также данных моделирования наногетероструктур, активных и пассивных элементов
- Оценка на основе опыта и экспериментальных данных реализуемости технологии изготовления на МИС СВЧ и возможных рисков
- Выбор на основе нормативных документов ТП, в наиболее полном виде обеспечивающих требования к параметрам МИС СВЧ
- Составление ТЗ на разработку ТД с учетом требований КД
- Согласование ТЗ в соответствии с регламентом, принятым в организации
Необходимые умения
- Оценивать технические и экономические риски при выборе технологических процессов изготовления МИС СВЧ
- Оценивать временные затраты на стандартные и нестандартные подходы при производстве МИС СВЧ
- Составлять согласно стандартам технические задания на разработку ТД МИС СВЧ
- Оформлять ТД для сопровождения производства МИС СВЧ
- Взаимодействовать с коллективами цехов, участков
Необходимые знания
- Основы физики гетероэпитаксиальных структур и приборов
- Параметры полупроводниковых материалов
- Современные системы моделирования и проектирования СВЧ-устройств и МИС СВЧ
- Основы технологии МИС СВЧ
- Методы сквозного проектирования МИС СВЧ
- ЕСТД, нормативная документация, регламенты, принятые в организации
- Стандарты по постановке продукции на производство
Другие характеристики
- Самостоятельная профессиональная деятельность, предполагающая ответственность за выбор типа гетероструктур и активных элементов, как результат выполнения собственных работ
- Деятельность, направленная на подготовку заданий на разработку технологических процессов МИС СВЧ
B Подготовка комплекта технологической документации (ТД) производства наногетероструктурных МИС СВЧ, организация и сопровождение технологического процесса производства
Уровень квалификации: 7
Возможные должности и профессии
- Ведущий инженер-технолог
- Инженер-технолог
Требования к образованию
- Высшее образование - специалитет, магистратура
Требования к опыту работы
- Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
Особые условия допуска
- Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
- инструктаж по безопасному ведению работ
B/01.7 Разработка комплекта технологической документации для производства МИС СВЧ на основе ТЗ и нормативной документации
Трудовые действия
- Анализ КД и ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к технологии производства
- Обоснование выбора маршрутной технологии
- Разработка маршрутных карт ТП изготовления МИС СВЧ
- Расчет технологических режимов операций
- Разработка операционных карт ТП
- Оформление технологической документации на ТП, согласование ее в соответствии с установленными регламентами
Необходимые умения
- Работать с нормативной документацией
- Работать в системе автоматизации проектирования (САПР) подготовки ТД для производства МИС СВЧ
Необходимые знания
- Технология производства МИС СВЧ
- Стандарты для подготовки технологической документации
- САПР подготовки ТД
Другие характеристики
- Ответственность за качество технологической документации на производство МИС СВЧ
B/02.7 Планирование и организация сопровождения технологического процесса производства МИС СВЧ
Трудовые действия
- Тестовый запуск, сопровождение и контроль выполнения технологических операций в ходе изготовления экспериментальной партии МИС СВЧ
- Анализ данных измерения параметров тестовых структур МИС СВЧ, внесение предложений по коррекции режимов в технологическую документацию
- Сопровождение установившегося технологического процесса производства МИС СВЧ: формирование баз данных измерения и контроля, составление протоколов и актов контроля параметров МИС
- Анализ данных измерений и контроля, предложения об изменении параметров ТП
Необходимые умения
- Проводить анализ технологической документации
- Работать на части технологического оборудования
Необходимые знания
- Стандарты на ТД: нормативная документация отрасли, организации на технологические процессы
- Основы технологии МИС СВЧ
- Система менеджмента качества (СМК)
Другие характеристики
- Профессиональная деятельность, направленная на согласование работ группы инженеров-конструкторов и инженеров-технологов
B/03.7 Разработка методики входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ
Трудовые действия
- Анализ ТЗ в части требований к параметрам исходных материалов и выполнения отдельных операций при изготовлении МИС СВЧ
- Разработка методик, выбор оборудования входного контроля материалов, используемых в производстве МИС СВЧ: подложек, металлов, диэлектриков и др.
- Разработка методик, выбор оборудования межоперационного контроля на тестовых структурах и элементах МИС СВЧ
- Разработка методик, выбор оборудования выходного контроля на тестовых структурах и МИС СВЧ
- Руководство проведением всех видов контроля
- Формирование базы данных всех видов контроля
- Статистическая обработка данных контроля с оформлением протоколов и заключений
Необходимые умения
- Работать на оборудовании входного, межоперационного и выходного контроля при производстве наногетероструктурных МИС СВЧ
Необходимые знания
- Методы контроля параметров МИС СВЧ и технологических процессов
Другие характеристики
- Ответственность за контроль качества МИС СВЧ
B/04.7 Реализация технологии на основе электронной литографии
Трудовые действия
- Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе электронной литографии
- Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для проведения электронной литографии
- Руководство подготовкой подложек для проведения операций экспонирования фоторезистов на установке электронной литографии
- Подготовка установки электронной литографии к проведению операций прорисовки топологии
- Руководство реализацией операций резист-процессинга после экспонирования подложек
- Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка электронной литографии
- Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
- Регламентные работы по тестированию установки электронной литографии
Необходимые умения
- Работать с нормативной документацией
- Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
Необходимые знания
- Методы электронной литографии
- Технология производства МИС СВЧ на основе электронной литографии
- Стандарты для подготовки технологической документации
- САПР подготовки файлов топологии для электронной литографии
Другие характеристики
- Ответственность за качество ТП, основанного на электронной литографии
B/05.7 Реализация технологии на основе проекционной литографии
Трудовые действия
- Анализ КД и ТЗ в части требований к реализации ТП на основе проекционной литографии
- Техническая проверка исходных файлов топологии МИС СВЧ для изготовления фотошаблонов
- Руководство изготовлением комплекта фотошаблонов в соответствии с ТЗ
- Руководство подготовкой подложек для проведения последовательности операций ТП, основанного на проекционной литографии (фотолитографии)
- Подготовка установки проекционной литографии к проведению операций
- Руководство реализацией последовательности операций изготовления МИС СВЧ после экспонирования подложек
- Измерение параметров тестовых структур и элементов МИС СВЧ на подложке, оформление протокола и внесение данных в базу данных участка проекционной литографии
- Передача подложки на следующий участок в соответствии с маршрутной картой
- Регламентные работы по тестированию установок проекционной литографии
Необходимые умения
- Работать с нормативной документацией
- Работать в САПР подготовки ТД для производства МИС СВЧ
Необходимые знания
- Технология производства МИС СВЧ на основе проекционной литографии
- Стандарты для подготовки технологической документации
- САПР подготовки файлов топологии для проекционной литографии
Другие характеристики
- Ответственность за качество ТП проекционной литографии
B/06.7 Организация работы по повышению выхода годных МИС, разработка ТЗ для корректировки технологических операций
Трудовые действия
- Разработка методик статистической обработки данных по уровню отклонений параметров и брака на пластинах наногетероструктурных МИС СВЧ
- Анализ причин отклонений, отказов и связывание их с исходными параметрами материалов гетероструктур, технологических операций, топологии
- Составление программы дополнительных исследований и измерений
- Подготовка рекомендации по устранению причин отклонений параметров и брака МИС СВЧ
- Разработка ТЗ для корректировки технологических операций и других мероприятий на основе анализа причин отклонений параметров и отказов
Необходимые умения
- Разрабатывать и владеть методиками статистической обработки данных
- Владеть методиками межоперационного контроля
- Анализировать результаты экспериментов
- Разрабатывать ТЗ
- Владеть методологией СМК
Необходимые знания
- Методы планирования эксперимента
- Методы и методики статистического анализа
- Теория допусков и теория чувствительности
Другие характеристики
- Ответственность за процент выхода годных МИС
- Деятельность, направленная на решение задач повышения эффективности организации
C Осуществление проектирования и изготовления методами эпитаксии наногетероструктур для ОТР и производства МИС СВЧ
Уровень квалификации: 7
Возможные должности и профессии
- Ведущий инженер-технолог
- Инженер-технолог
Требования к образованию
- Высшее образование - специалитет, магистратура
Требования к опыту работы
- Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
Особые условия допуска
- Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
- инструктаж по безопасному ведению работ
C/01.7 Проведение расчета параметров технологического процесса эпитаксиального выращивания наногетероструктур на подложках, применяемых в СВЧ-электронике
Трудовые действия
- Анализ ТЗ на разработку МИС СВЧ в части требований к материалам и типу наногетероструктуры
- Обоснование выбора машины для проведения эпитаксии
- Расчет технологических режимов выращивания эпитаксиальных слоев
- Моделирование роста гетероструктур с применением TCAD
- Разработка технологической документации на изготовление гетероструктур
Необходимые умения
- Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии
Необходимые знания
- Технический английский язык
- Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
- Методы эпитаксии для производства гетероструктур, применяемых в наноэлектронике СВЧ
- Работа с установками сверхвысокого вакуума
Другие характеристики
- Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
C/02.7 Подготовка и квалификация машин к росту продукции
Трудовые действия
- Выполнение регламента подготовки машины к проведению ТП выращивания наногетероструктуры
- Подготовка материалов для проведения эпитаксии
- Проведение роста наногетероструктур в соответствии с ТП
Необходимые умения
- Работать на машинах молекулярно-лучевой эпитаксии
Необходимые знания
- Технический английский язык
- Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
- Технология молекулярно-лучевой эпитаксии
- Работа с установками сверхвысокого вакуума
Другие характеристики
- Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
C/03.7 Определение методик тестирования качества эпитаксиальных слоев
Трудовые действия
- Выбор методов и технических средств для тестирования эпитаксиальных слоев наногетероструктур
- Измерение основных параметров в процессе эпитаксии
- Измерение параметров выращенных структур при завершении процесса эпитаксии
- Формирование базы данных результатов тестирования и измерения
Необходимые умения
- Работать с приборами и установками измерения параметров наногетероструктур
Необходимые знания
- Методы измерения и тестирования параметров наногетероструктур
- Основы материаловедения полупроводников и гетероструктур
Другие характеристики
- Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
C/04.7 Проведение статистического анализа поведения установки во время исследования, статистическое сопровождение по группам продукции и контроль качества по спецификации заказчика
Трудовые действия
- Формирование базы данных параметров установки во время реализации процесса роста
- Анализ путем статистической обработки точности выполнения операций и результата роста
- Анализ данных статистической обработки об отклонениях в реализации роста и выработка корректирующих действий в следующей загрузке
- Оформление сдаточных документов с сертификатом наногетероструктур для заказчика
Необходимые умения
- Проводить статистический анализ
- Оформлять протоколы и сертификаты (паспорта) продукции
Необходимые знания
- Методы статистической обработки данных
- Теория и практика управления технологическими процессами
Другие характеристики
- Ответственность за качество исходных материалов для МИС СВЧ
D Проведение ОТР по разработке базовых технологических процессов МИС СВЧ
Уровень квалификации: 7
Возможные должности и профессии
- Ведущий инженер-технолог
Требования к образованию
- Высшее образование - специалитет, магистратура
Требования к опыту работы
- Не менее одного года работы в должности инженера-технолога
Особые условия допуска
- Прохождение обязательных предварительных (при поступлении на работу) и периодических медицинских осмотров (обследований) в установленном законодательством порядке;
- инструктаж по безопасному ведению работ
D/01.7 Анализ КД и ТЗ на проведение ОТР, оценка достижимости заданных параметров МИС СВЧ по выбираемой или заданной технологии
Трудовые действия
- Анализ экспериментальных данных предыдущих разработок
- Оценка достижимости параметров путем моделирования основных электрических и эксплуатационных параметров, а также технологии изготовления активных и пассивных элементов МИС СВЧ
- Организация проведения экспертных оценок достижимости заданных параметров по ТЗ
- Разработка предложений о коррекции ТЗ на ОТР (в случае критичности достижения отдельных параметров)
Необходимые умения
- Разрабатывать и владеть методами моделирования элементов и МИС в СВЧ диапазоне
- Владеть методиками экспертных оценок
- Владеть методологией СМК
Необходимые знания
- Методы моделирования активных и пассивных элементов МИС СВЧ
- Методики экспертных оценок
Другие характеристики
- Ответственность за корректность оценки ТЗ на реализуемость
D/02.7 Определение базовых технологических процессов, применяемых материалов и оборудования для изготовления опытных образцов МИС СВЧ
Трудовые действия
- Анализ технического задания на ОТР, определение базовых технологических процессов для реализации целей ОТР
- Обоснование применения материалов, используемых при производстве МИС СВЧ
- Разработка перечня оборудования для реализации технологического процесса производства МИС
- Разработка технико-экономического обоснования выбранных решений
- Защита на НТС обоснованных технологических решений реализации ОТР
Необходимые умения
- Оформлять технические решения в виде пояснительной записки, презентации, согласовывать их в соответствии с установленным регламентом и представлять на НТС
Необходимые знания
- Системный анализ
- Нормативная документация и описания базовых технологических процессов
- Основы материаловедения применительно к электронике СВЧ
- Методики проведения технико-экономических исследований при производстве высокотехнологичной продукции
Другие характеристики
- Профессиональная деятельность, направленная на развитие инновационных разработок
D/03.7 Согласование принимаемых решений с представителями заказчика, конструкторскими подразделениями, метрологической службой и другими смежными структурами организации
Трудовые действия
- Разработка комплекса согласованных мероприятий по улучшению параметров технологического процесса и МИС СВЧ
- Системный анализ влияния принимаемых согласованных решений на качественное и количественное улучшение основных параметров технологического процесса и МИС СВЧ
Необходимые умения
- Принимать согласованные решения
- Владеть методологией СМК
Необходимые знания
- Системный анализ
- Теория и практика принятия оптимальных решений
- Процессный метод системы менеджмента качества
Другие характеристики
- Ответственность за конечный результат, удовлетворяющий заказчика и имеющий перспективу производства электронных компонент СВЧ-техники
D/04.7 Управление командой по реализации ОТР
Трудовые действия
- Постановка частных задач исследовательским и производственным коллективам для достижения основного результата
- Контроль и оценка достижений заданных результатов
Необходимые умения
- Декомпозировать ТЗ без потери системности
- Принимать согласованные решения
- Владеть методологией СМК
Необходимые знания
- Системный анализ
- Теория и практика принятия оптимальных решений
- Процессный метод системы менеджмента качества
Другие характеристики
- Ответственность за выполнение всех требований ТЗ на ОТР
Организации-разработчики
Ответственная организация: Фонд инфраструктурных и образовательных программ (РОСНАНО), Генеральный директор, Свинаренко Андрей Геннадьевич
- Автономная некоммерческая организация «Национальное агентство развития квалификаций», город Москва
- ЗАО «Научно-производственная фирма «Микран», город Томск
- ОАО НИИ Полупроводниковых приборов, город Томск
- ООО «НПФ «Сенсерия», город Томск
- ООО «НПФ «Сибтроника», город Томск
- ООО «РИД», город Томск
- Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники» (ТУСУР), город Томск