Специалист по проектированию вакуумного технологического оборудования для электровакуумного и полупроводникового производства

A/01.4 Проектирование элементов конструкции вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Выявление конструктивных и технологических особенностей сборочных единиц вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Выполнение чертежей отдельных деталей вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Необходимые умения

• Анализировать чертежи сборочных единиц вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Производить разработку чертежей отдельных деталей вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства с использованием систем автоматизированного проектирования (далее - CAD-системы)

Необходимые знания

• Типовое технологическое оборудование вакуумных процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Инструкции по эксплуатации типового вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Основы промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Требования вакуумной гигиены в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности
• Типовые конструкции вакуумных камер и внутрикамерных элементов вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Типовые конструкции внешних нагревательных систем вакуумных камер, изделий и элементов вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Типовые элементы вакуумных систем вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними

A/02.4 Выполнение измерений технологических параметров при производственных испытаниях вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Подготовка средств измерения к проведению измерений для определения действительных значений контролируемых параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Измерение температуры в вакуумной камере, на внутрикамерных элементах и в подколпачном пространстве (в случае внешнего нагрева)
• Измерение остаточного и рабочего давления в вакуумной камере вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Контроль времени нагрева, выдержки и охлаждения
• Контроль времени достижения остаточного давления в вакуумной камере и времени ее разгерметизации
• Контроль газонатекания в вакуумную камеру вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Измерение расхода технологических газов
• Контроль состава остаточной атмосферы в вакуумной камере вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Регистрация результатов выполненных измерений технологических параметров в производственной документации

Необходимые умения

• Настраивать и подключать средства измерения технологических параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Использовать средства измерения для контроля параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Оформлять производственную документацию по результатам несложных измерений параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Использовать текстовые редакторы (процессоры) и электронные таблицы для создания производственной документации
• Применять средства индивидуальной защиты и вакуумной гигиены

Необходимые знания

• Основные технические характеристики, конструктивные особенности, назначение и принципы применения средств измерения параметров вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Методика проверки работоспособности средств измерения, применяемых в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства
• Типовые параметры вакуумных технологических процессов вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Нормативно-технические документы по применению средств измерения параметров вакуумных технологических процессов, реализуемых на вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства
• Методы измерений параметров вакуумных технологических процессов, реализуемых на вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства
• Виды, конструкции, назначение, погрешность цифровых датчиков вакуума, манометров, мановакуумметров, расходомеров, термопар, применяемых в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы в них
• Прикладные программы для работы с электронными таблицами: наименования, возможности и порядок работы в них
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности

A/03.4 Ведение учетной документации по вакуумному технологическому оборудованию электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Сбор и оцифровка данных о разрабатываемом вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства, сборочных единицах и деталях
• Ведение электронных таблиц и баз данных по разрабатываемому вакуумному технологическому оборудованию электровакуумного и полупроводникового производства, сборочным единицам и деталям

Необходимые умения

• Обрабатывать в машиночитаемом виде информацию о разрабатываемом вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства, сборочных единицах и деталях
• Создавать электронные таблицы и базы данных по разрабатываемому вакуумному технологическому оборудованию электровакуумного и полупроводникового производства, сборочным единицам и деталям
• Использовать электронные таблицы и системы управления базами данных (далее - СУБД) и базами знаний для оформления производственной документации

Необходимые знания

• Методика сбора и оцифровки информации
• Требования к работе на автоматизированных рабочих местах, оснащенных применяемым в организации программным обеспечением и включенным в локальную, а также внешнюю сеть
• Прикладные программы для работы с электронными таблицами: наименования, возможности и порядок работы в них
• СУБД: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Основные правила ведения производственной документации

B/01.5 Проектирование несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Определение требуемых типа откачных средств, запорной арматуры, технологических источников, нагревательного и охладительного устройств, внутрикамерных элементов, конфигурации камеры и габаритов
• Выявление аналогичного несложного вакуумного технологического оборудования и его элементов
• Оценка капитальных вложений на изготовление несложного вакуумного технологического оборудования и расходов на его эксплуатацию
• Определение и согласование экономически обоснованного варианта несложного вакуумного технологического оборудования
• Расчет эффективной скорости откачки несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной системы несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование нагревательной системы несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной камеры и внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование газовой системы несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы охлаждения несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование рам несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования
• Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц несложного вакуумного технологического оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя
• Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц несложного вакуумного технологического оборудования
• Согласование конструкции несложного вакуумного технологического оборудования с руководством подразделения и экономической службой организации
• Патентный поиск аналогичных объектов интеллектуальной собственности в области несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав
• Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности

Необходимые умения

• Анализировать техническое задание на проектирование несложного вакуумного технологического оборудования
• Использовать СУБД и базы знаний для поиска схожего несложного вакуумного технологического оборудования, его узлов и деталей
• Выполнять экономические расчеты затрат на изготовление несложного вакуумного технологического оборудования и его эксплуатацию с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры
• Выбирать типоразмер несложного вакуумного технологического оборудования в зависимости от заданной производительности и условий эксплуатации
• Выполнять вакуумные расчеты несложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и прикладных программ расчета вакуумных систем
• Выполнять тепловые расчеты несложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и системы автоматизации инженерных расчетов (далее – CAE-систем)
• Производить разработку вакуумных камер и внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку вакуумных, газовых систем, систем охлаждения и пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку рам несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Разрабатывать техническую документацию на несложное вакуумное технологическое оборудование с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Разрабатывать во взаимодействии с правовым подразделением техническую документацию для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав
• Осуществлять патентный поиск

Необходимые знания

• Состав технических заданий на проектирование несложного вакуумного технологического оборудования
• Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования
• Конструктивные особенности типового вакуумного технологического оборудования полупроводникового и электровакуумного производства
• Основные методы расчета экономической эффективности
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования полупроводникового и электровакуумного производства
• Методы вакуумного расчета
• Методы теплового расчета
• Типовые схемы и элементы вакуумных систем
• Типовые схемы и элементы газовых систем
• Типовые схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания
• Типовые конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств
• Типовые конструкции вводов движения и электрических вводов
• Типовые конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции
• Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения
• Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Правила оформления технической документации на несложное вакуумное технологическое оборудование
• СУБД: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Прикладные программы расчета вакуумных систем: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности
• Условия патентоспособности изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Состав комплекта документов и порядок подачи заявки для регистрации изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Методика патентного поиска

B/02.5 Разработка технических заданий на проектирование оснастки и вспомогательного оборудования для электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Выявление потребностей разрабатываемого вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства в оснастке и вспомогательном оборудовании
• Изучение особенностей представленных на рынке аналогичных оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Технико-экономическое обоснование разработки оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Разработка технического задания на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства
• Согласование технического задания на разработку оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства с руководством подразделения и экономической службой организации
• Разработка съемных систем установки приборов и подложек
• Разработка вакуумных контейнеров для хранения и транспортирования приборов и подложек
• Разработка защитных шумоизолирующих кожухов
• Разработка мобильных систем межоперационного перемещения изделий
• Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц оснастки и вспомогательного оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя
• Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц оснастки и вспомогательного оборудования

Необходимые умения

• Анализировать вакуумное технологическое оборудование электровакуумного и полупроводникового производства с целью выявления потребности в оснастке и вспомогательном оборудовании
• Определять необходимость разработки оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Производить разработку технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Производить разработку оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Прогнозировать расходы на создание новой оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Оценивать экономический эффект от использования оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Необходимые знания

• Нормативно-технические документы по разработке оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Назначение, принцип работы и особенности применения моечных машин, травильных и ультразвуковых ванн, пескоструйных аппаратов в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Назначение, возможности и особенности применения оборудования для получения контролируемой атмосферы в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Назначение, возможности и особенности применения систем замкнутого охлаждения в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Порядок разработки технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование
• Порядок испытаний разработанной оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Порядок применения оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Требования вакуумной гигиены
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности

B/03.5 Разработка технических заданий на проектирование средств контроля и управления для несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Выявление потребности в средствах контроля и управления для несложного вакуумного технологического оборудования
• Изучение существующих средств, предназначенных для контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Оценка экономических характеристик средств, предназначенных для контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Разработка технического задания на проектирование средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Согласование технического задания на разработку средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием с руководством подразделения, метрологической службой и экономической службой организации

Необходимые умения

• Анализировать несложное вакуумное технологическое оборудование с целью выявления потребности в средствах контроля и управления
• Выбирать методы и средства измерений физических величин при вакуумных технологических процессах
• Производить анализ методов регулирования и исполнительных механизмов, управляющих технологическими параметрами несложного вакуумного технологического оборудования
• Определять необходимость разработки конкретных средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Производить разработку технических заданий на средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Прогнозировать расходы на создание новых средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Оценивать экономический эффект от использования специальных средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Интегрировать средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства

Необходимые знания

• Нормативно-технические документы по разработке средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Нормативно-технические документы по управлению температурой и составом технологической атмосферы при проведении вакуумных технологических процессов
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения остаточного и рабочего давления в камере, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения температуры, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения расхода технологических газов, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Принципы реализации автоматизированного управления вакуумным технологическим оборудованием
• Способы регулирования технологических параметров, применяемые в вакуумном технологическом оборудовании
• Виды элементов и схем, регулирующих расход технологических газов в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Порядок разработки технических заданий на средства контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Порядок применения средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием, подключенных к сети обмена данными
• Виды средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием, включенных в сеть обмена данными
• Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования средств контроля и управления несложным вакуумным технологическим оборудованием
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности

B/04.5 Проведение испытаний несложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Контроль соответствия смонтированного несложного вакуумного технологического оборудования требованиям конструкторской документации
• Испытания систем несложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении
• Подготовка несложного вакуумного технологического оборудования к вакуумной откачке и нагреву (при необходимости)
• Контроль функционирования несложного вакуумного технологического оборудования при рабочем давлении и температуре
• Проверка системы управления и контроля несложного вакуумного технологического оборудования
• Разработка предложений по изменению конструкции несложного вакуумного технологического оборудования при установленном отклонении от технического задания
• Разработка и согласование инструкции по эксплуатации на несложное вакуумное технологическое оборудование

Необходимые умения

• Проверять соответствие конструкции несложной вакуумной системы конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции несложной газовой системы конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции несложных систем охлаждения и пневмопитания конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции несложного нагревательного устройства конструкторской документации
• Проверять состояние и крепление внутренних и внешних нагревательных элементов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять состояние и крепление внутрикамерных элементов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять исправность исполнительных механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять герметичность вакуумных и газовых вводов и линий, систем охлаждения и пневмопитания несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять состояние температурных швов несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять правильность установки термопар несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять работу несложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении в ручном режиме
• Проверять герметичность несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять правильность монтажа защитных устройств, кожухов и ограждений несложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять заземление, изоляцию, электрическое сопротивление технологических источников, нагревателей и между технологическими источниками, нагревателями и каркасом несложного вакуумного технологического оборудования
• Разрабатывать предложения по устранению отклонений несложного вакуумного технологического оборудования от утвержденной конструкции
• Производить контрольные измерения технологических параметров несложного вакуумного технологического оборудования более точными приборами, чем штатные
• Производить проверку исполнительных органов системы управления несложного вакуумного технологического оборудования
• Производить проверку функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств контроля и исполнительных механизмов несложного вакуумного технологического оборудования
• Производить корректировку технической документации несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при выявленном отклонении его характеристик от технического задания с использованием текстовых редакторов, CAD-систем, CAE-систем и графических редакторов
• Производить разработку инструкций по эксплуатации несложного вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов

Необходимые знания

• Государственные и локальные стандарты, технические условия, технологические инструкции в области вакуумных технологических процессов и оборудования
• Требования охраны труда, производственной безопасности, защиты окружающей среды
• Требования вакуумной гигиены
• Типовые режимы вакуумных технологических процессов
• Основы эксплуатации дополнительного и вспомогательного оборудования, используемого в электровакуумном и полупроводниковом производствах
• Принципы управления вакуумными технологическими процессами
• Основные подходы к интеграции вакуумных технологических процессов и оборудования в единую информационную среду организации
• Конструкция несложных нагревательных и охладительных устройств, внутрикамерных элементов, дополнительного и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Порядок внесения предложений по устранению отклонений конструкции несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей от утвержденного проекта
• Порядок внесения и согласования предложений по доработке конструкции несложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при отклонении их характеристик от технического задания
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Порядок функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств контроля и исполнительных механизмов несложного вакуумного технологического оборудования
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Единая система технологической документации
• Единая система технологической подготовки производства
• Порядок разработки и содержание инструкции по эксплуатации несложного вакуумного технологического оборудования
• Порядок оформления производственно-технической документации

C/01.6 Проектирование сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Определение типа откачных средств, запорной арматуры, технологических источников, нагревательного и охладительного устройств, внутрикамерных элементов, шлюзовых устройств, конфигурации камеры, габаритов и принципа сложного вакуумного технологического оборудования
• Выявление аналогичного сложного вакуумного технологического оборудования и его элементов
• Оценка капитальных вложений на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и расходов на его эксплуатацию
• Определение и согласование экономически обоснованного варианта сложного вакуумного технологического оборудования
• Расчет требуемой скорости откачки сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Расчет тепловых параметров систем нагрева и охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование нагревательной системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование газовой системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование рам сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования
• Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя
• Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования
• Согласование конструкции сложного вакуумного технологического оборудования с руководством подразделения и экономической службой организации
• Уведомление в письменной форме руководителя подразделения о создании в связи с выполнением своих трудовых обязанностей или конкретного задания объекта, в отношении которого возможна правовая охрана
• Патентный поиск аналогичных объектов интеллектуальной собственности в области сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав

Необходимые умения

• Анализировать техническое задание на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования
• Использовать СУБД и базы знаний для поиска близкого к проектируемому сложного вакуумного технологического оборудования, его узлов и деталей
• Выполнять экономические расчеты затрат на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и его эксплуатацию с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры
• Выбирать типоразмер сложного вакуумного технологического оборудования в зависимости от заданной производительности и условий эксплуатации
• Выполнять вакуумные расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и прикладных программ расчета вакуумных систем
• Выполнять тепловые расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и CAE-систем
• Производить разработку вакуумных камер и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку вакуумных, газовых систем, систем охлаждения и пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку рам сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Разрабатывать во взаимодействии с правовым подразделением техническую документацию для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав
• Осуществлять патентный поиск

Необходимые знания

• Порядок оформления технических заданий на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования
• Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования
• Конструктивные особенности проходного и шлюзового вакуумного технологического оборудования
• Методы расчета экономической эффективности
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования для вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Методы вакуумного расчета
• Методы теплового расчета
• Схемы и элементы вакуумных систем
• Схемы и элементы газовых систем
• Схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания
• Конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств
• Конструкции систем шлюзования и перегрузки изделий
• Конструкции вводов движения и электрических вводов
• Конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции
• Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения
• Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Правила оформления технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование
• СУБД: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Прикладные программы расчета вакуумных систем: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности
• Условия патентоспособности изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Состав комплекта документов и порядок подачи заявки для регистрации изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Методика патентного поиска

Другие характеристики

• -

C/02.6 Разработка технических заданий на проектирование процессорных средств контроля и управления для сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Определение требуемого уровня автоматизации сложного вакуумного технологического оборудования
• Изучение существующих средств, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Оценка экономических характеристик средств, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Определение потребности в конкретных средствах, предназначенных для процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Разработка технического задания на проектирование средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Согласование технического задания на разработку средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием с руководством подразделения, метрологической службой, информационно-технической службой и экономической службой организации

Необходимые умения

• Анализировать сложное вакуумное технологическое оборудование с целью определения требуемого уровня автоматизации
• Выбирать методики и средства измерений физических величин вакуумных технологических процессов
• Производить анализ методов процессорного управления технологическими параметрами сложного вакуумного технологического оборудования
• Определять необходимость разработки конкретных средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Производить разработку технических заданий на средства процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Прогнозировать расходы на создание новых средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Оценивать экономический эффект от использования средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Интегрировать средства процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства

Необходимые знания

• Нормативно-технические документы по разработке средств процессорного контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Нормативно-технические документы по автоматизированному и автоматическому управлению режимами вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения остаточного и рабочего давления в камере, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения температуры, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения расхода технологических газов, применяемых в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Принципы реализации автоматического управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Принципы управления технологическими параметрами, применяемые в сложном вакуумном технологическом оборудовании
• Виды элементов и схем, регулирующих расход технологических газов в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Порядок разработки технических заданий на средства контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Порядок применения процессорных средств контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием, подключенных к сети обмена данными
• Состав, назначение и возможности программного обеспечения, применяемого в процессорных средствах контроля и управления вакуумными технологическими процессами электровакуумного и полупроводникового производства
• Виды процессорных средств контроля и управления вакуумным технологическим оборудованием, включенных в сеть обмена данными
• Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования процессорных средств контроля и управления сложным вакуумным технологическим оборудованием
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности

C/03.6 Проведение испытаний сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Контроль соответствия смонтированного сложного вакуумного технологического оборудования требованиям конструкторской документации
• Выявление скрытых дефектов сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении
• Испытания систем сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении
• Подготовка сложного вакуумного технологического оборудования к вакуумной откачке, нагреву (при необходимости)
• Контроль функционирования сложного вакуумного технологического оборудования при рабочем давлении и температуре
• Проверка системы управления и контроля сложного вакуумного технологического оборудования
• Разработка предложений по изменению конструкции сложного вакуумного технологического оборудования при установленном отклонении от технического задания
• Разработка и согласование инструкции по эксплуатации на сложное вакуумное технологическое оборудование

Необходимые умения

• Проверять соответствие конструкции сложной вакуумной системы конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции сложной газовой системы конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции сложных систем охлаждения и пневмопитания конструкторской документации
• Проверять соответствие конструкции сложной нагревательной системы конструкторской документации
• Проверять состояние и крепление внутренних и внешних нагревательных элементов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять состояние и крепление внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять исправность исполнительных механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять герметичность вакуумных и газовых вводов и линий, систем охлаждения и пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять состояние температурных швов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять правильность установки термопар сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять работу сложного вакуумного технологического оборудования при атмосферном давлении в ручном режиме
• Проверять герметичность сложного вакуумного технологического оборудования масс-спектрометрическим методом
• Проверять правильность монтажа защитных устройств, кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования
• Проверять заземление, изоляцию, электрическое сопротивление технологических источников, нагревателей и между технологическими источниками, нагревателями, камерой, шлюзом и рамой сложного вакуумного технологического оборудования
• Разрабатывать предложения по устранению отклонений сложного вакуумного технологического оборудования от согласованного и утвержденного проекта
• Производить контрольные измерения технологических параметров во всех технологических зонах сложного вакуумного технологического оборудования специальными высокоточными приборами для проверки показаний штатных датчиков
• Производить проверку функционирования процессорной системы управления сложного вакуумного технологического оборудования
• Производить проверку работы прикладных программ, обеспечивающих управление сложным вакуумным технологическим оборудованием, при работе в штатном режиме
• Производить проверку работы прикладных программ, обеспечивающих управление сложным вакуумным технологическим оборудованием, при моделировании отклонений от штатного режима работы
• Производить проверку функционирования интегрированных в сеть обмена данными процессорных средств контроля и управления сложного вакуумного технологического оборудования
• Корректировать техническую документацию сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при выявленном отклонении его характеристик от технического задания с использованием текстовых редакторов, CAD-систем, CAE-систем и графических редакторов
• Производить разработку инструкций по эксплуатации сложного вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов

Необходимые знания

• Государственные и локальные стандарты, технические условия, технологические инструкции в области вакуумных технологических процессов и оборудования
• Требования охраны труда, производственной безопасности, защиты окружающей среды
• Требования вакуумной гигиены
• Специальные режимы вакуумных технологических процессов
• Принципы эксплуатации дополнительного и вспомогательного оборудования, используемого в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Принципы процессорного управления вакуумными технологическими процессами
• Принципы применения вычислительной техники и прикладных программ для управления вакуумными технологическими процессами
• Принципы интеграции вакуумных технологических процессов и оборудования в единую информационную среду организации
• Конструкции сложных нагревательных и охладительных устройств, внутрикамерных элементов, дополнительного и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Порядок внесения предложений по устранению отклонений конструкции сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей от утвержденного проекта
• Порядок внесения и согласования предложений по доработке конструкции сложного вакуумного технологического оборудования, его сборочных единиц и отдельных деталей при отклонении его характеристик от технического задания
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Порядок функционирования интегрированных в сеть обмена данными средств процессорного контроля сложного вакуумного технологического оборудования
• Состав, назначение и возможность программного обеспечения, применяемого в процессорных средствах контроля и управления вакуумных технологических процессов
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Единая система технологической документации
• Единая система технологической подготовки производства
• Порядок разработки и содержание инструкции по эксплуатации сложного вакуумного технологического оборудования
• Порядок оформления производственно-технической документации

D/01.7 Проектирование кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Определение типа откачных средств, запорной арматуры, технологических источников, нагревательного и охладительного устройств, внутрикамерных элементов, шлюзовых устройств, конфигурации камеры, габаритов и принципа сложного вакуумного технологического оборудования
• Выявление аналогичного сложного вакуумного технологического оборудования и его элементов
• Оценка капитальных вложений на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и расходов на его эксплуатацию
• Определение и согласование экономически обоснованного варианта сложного вакуумного технологического оборудования
• Расчет требуемой скорости откачки сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Расчет тепловых параметров систем нагрева и охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование нагревательной системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование газовой системы сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы охлаждения сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование системы пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование рам сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования
• Проектирование систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования
• Отработка спроектированных деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования на технологичность с учетом производственных возможностей организации-изготовителя
• Ведение авторского надзора при изготовлении деталей и сборочных единиц сложного вакуумного технологического оборудования
• Согласование конструкции сложного вакуумного технологического оборудования с руководством подразделения и экономической службой организации
• Уведомление в письменной форме руководителя подразделения о создании в связи с выполнением своих трудовых обязанностей или конкретного задания объекта, в отношении которого возможна правовая охрана
• Патентный поиск аналогичных объектов интеллектуальной собственности в области сложного вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Подготовка технической документации во взаимодействии с правовым подразделением для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав

Необходимые умения

• Анализировать техническое задание на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования
• Использовать СУБД и базы знаний для поиска близкого к проектируемому сложного вакуумного технологического оборудования, его узлов и деталей
• Выполнять экономические расчеты затрат на изготовление сложного вакуумного технологического оборудования и его эксплуатацию с использованием текстовых редакторов и систем компьютерной алгебры
• Выбирать типоразмер сложного вакуумного технологического оборудования в зависимости от заданной производительности и условий эксплуатации
• Выполнять вакуумные расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и прикладных программ расчета вакуумных систем
• Выполнять тепловые расчеты сложного вакуумного технологического оборудования с использованием систем компьютерной алгебры и CAE-систем
• Производить разработку вакуумных камер и внутрикамерных элементов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку вакуумных, газовых систем, систем охлаждения и пневмопитания сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку рам сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку приводов и механизмов вращения и перемещения внутрикамерных элементов, дверей, крышек, колпаков и кожухов сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку систем заземления, блокировочных устройств, защитных кожухов и ограждений сложного вакуумного технологического оборудования с использованием CAD-систем и CAE-систем
• Производить разработку технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Разрабатывать во взаимодействии с правовым подразделением техническую документацию для подачи заявки о регистрации объекта интеллектуальной собственности в федеральный орган исполнительной власти, осуществляющий регулирование в сфере авторского права и смежных прав
• Осуществлять патентный поиск

Необходимые знания

• Порядок оформления технических заданий на проектирование сложного вакуумного технологического оборудования
• Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования
• Конструктивные особенности проходного и шлюзового вакуумного технологического оборудования
• Методы расчета экономической эффективности
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования для вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Методы вакуумного расчета
• Методы теплового расчета
• Схемы и элементы вакуумных систем
• Схемы и элементы газовых систем
• Схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания
• Конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств
• Конструкции систем шлюзования и перегрузки изделий
• Конструкции вводов движения и электрических вводов
• Конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции
• Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения
• Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Правила оформления технической документации на сложное вакуумное технологическое оборудование
• СУБД: наименования, возможности и порядок работы с
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAE-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Прикладные программы расчета вакуумных систем: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности
• Условия патентоспособности изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Состав комплекта документов и порядок подачи заявки для регистрации изобретения, полезной модели и промышленного образца
• Методика патентного поиска

Другие характеристики

• -

D/02.7 Разработка технических заданий на проектирование систем автоматизированного управления для кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Выявление потребности в применении системы автоматизированного управления для кластерных и проходных систем, реализующих вакуумные технологические процессы, и интегрированных производственных линий
• Изучение и анализ существующих систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Оценка экономических характеристик систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Определение потребности в конкретных системах автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Разработка технического задания на проектирование системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Согласование технического задания на разработку системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства с руководством подразделения, метрологической службой, информационно-технической службой и экономической службой организации

Необходимые умения

• Анализировать кластерные и проходные системы, реализующие вакуумные технологические процессы, и интегрированные производственные линии с целью выявления потребности в применении системы автоматизированного управления
• Разрабатывать предложения по использованию актуальных методик и средств измерений физических величин вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства, интегрированных в комплексные системы и производственные линии
• Производить анализ структуры, возможностей и аппаратной реализации систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Определять необходимость разработки конкретных систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Производить разработку технических заданий на системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства с использованием текстовых редакторов, CAD-систем и графических редакторов
• Прогнозировать расходы на создание систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Оценивать экономический эффект от внедрения систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Интегрировать системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов в единую систему обмена информацией электровакуумного и полупроводникового производства

Необходимые знания

• Нормативно-технические документы по разработке систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Нормативно-технические документы по автоматизированному и автоматическому управлению параметрами вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Виды, физические принципы работы, область применения и принципиальные ограничения методов и средств измерения параметров вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Структура, возможности и принципы программной и аппаратной реализации систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Принципы управления технологическими параметрами, применяемые в вакуумном технологическом оборудовании электровакуумного и полупроводникового производства
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Единая система технологической документации
• Единая система технологической подготовки производства
• Порядок оформления производственно-технической документации
• Порядок разработки технических заданий на системы автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Порядок применения автоматизированных рабочих мест системы управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства, подключенных к сети обмена данными
• Состав, назначение и возможности программного обеспечения, применяемого в системах автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Практические и теоретические основы реализации этапов проектирования систем автоматизированного управления комплексными решениями в области вакуумных технологических процессов электровакуумного и полупроводникового производства
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности

D/03.7 Разработка методик проектирования вакуумного технологического оборудования электровакуумного и полупроводникового производства

Трудовые действия

• Определение потребности в разработке методики проектирования вакуумного технологического оборудования
• Определение последовательности этапов проектирования вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования вакуумной системы вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования нагревательной системы вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования газовой системы вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования системы охлаждения вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования системы пневмопитания вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования рам вакуумного технологического оборудования
• Разработка методики проектирования оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Разработка методики составления технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства
• Разработка методики составления технических заданий на системы контроля и управления для вакуумного технологического оборудования
• Оформление документации на методику проектирования вакуумного технологического оборудования
• Согласование методик проектирования вакуумного технологического оборудования с подразделениями организации
• Анализ данных об актуальных подходах к проектированию вакуумного технологического оборудования на основе периодической научной печати и возможностей информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»

Необходимые умения

• Анализировать конструкторскую и технологическую документацию на вакуумное технологическое оборудование
• Анализировать возможности вакуумного технологического оборудования
• Анализировать данные об актуальных методах проектирования вакуумного технологического оборудования на основе периодической научной печати и возможностей информационно-телекоммуникационной сети «Интернет»
• Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов вакуумной системы вакуумного технологического оборудования
• Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов газовой системы вакуумного технологического оборудования
• Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов нагревательной системы вакуумного технологического оборудования
• Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов системы охлаждения вакуумного технологического оборудования
• Определять последовательность и методику расчетов и выбора принципиальной схемы и элементов системы пневмопитания вакуумного технологического оборудования
• Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов вакуумной камеры, шлюзовой камеры и внутрикамерных элементов вакуумного технологического оборудования
• Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов рам вакуумного технологического оборудования
• Обосновывать последовательность и методику выбора конструкций и расчетов оснастки и вспомогательного оборудования электровакуумного и полупроводникового производства
• Разрабатывать типовые формы технических заданий на системы контроля и управления для вакуумного технологического оборудования и рекомендации по их заполнению
• Разрабатывать типовые формы технических заданий на оснастку и вспомогательное оборудование электровакуумного и полупроводникового производства и рекомендации по их заполнению
• Определять специальные требования к вакуумному технологическому оборудованию
• Разрабатывать последовательность проектирования вакуумного технологического оборудования
• Определять требования к условиям проведения производственных испытаний вакуумного технологического оборудования
• Разрабатывать алгоритм обработки результатов производственных испытаний вакуумного технологического оборудования с использованием текстовых редакторов, электронных таблиц, систем компьютерной алгебры и графических редакторов
• Оформлять производственно-техническую документацию в бумажном и электронном виде с использованием текстовых редакторов, систем компьютерной алгебры, CAD-систем и графических редакторов

Необходимые знания

• Технические требования, предъявляемые к вакуумному технологическому оборудованию
• Государственные стандарты и локальные акты, определяющие требования к вакуумному технологическому оборудованию
• Требования вакуумной гигиены
• Требования охраны труда, пожарной, промышленной и экологической безопасности
• Применяемые в организации методики проектирования вакуумного технологического оборудования
• Порядок оформления технических заданий на проектирование вакуумного технологического оборудования
• Правила эксплуатации вакуумного технологического оборудования
• Конструктивные особенности вакуумного технологического оборудования
• Методики расчета экономической эффективности
• Единая система конструкторской документации
• Единая система допусков и посадок
• Этапы проектирования вакуумного технологического оборудования
• Методы вакуумного расчета
• Методы теплового расчета
• Особенности схем и конструкций элементов вакуумных систем
• Особенности схем и конструкций элементов газовых систем
• Особенности схем и конструкций элементов систем нагрева
• Материалы вакуумной техники, их свойства и области применения
• Схемы и элементы систем охлаждения и пневмопитания
• Конструкции вакуумных камер и внутрикамерных устройств
• Конструкции систем шлюзования и перегрузки изделий
• Конструкции вводов движения и электрических вводов
• Конструкции элементов вакуумной и атмосферной теплоизоляции
• Виды, конструкции и назначение устройств для обеспечения промышленной безопасности в электровакуумном и полупроводниковом производстве
• Правила оформления проектной и конструкторской документации на вакуумное технологическое оборудование
• Порядок согласования и утверждения методик проектирования вакуумного технологического оборудования
• Государственные стандарты и локальные акты, регламентирующие вопросы электронного и бумажного делопроизводства
• Текстовые редакторы (процессоры): наименования, возможности и порядок работы с ними
• Графические редакторы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• CAD-системы: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Системы компьютерной алгебры: наименования, возможности и порядок работы с ними
• Прикладные программы для работы с электронными таблицами: наименования, возможности и порядок работы в них